半導(dǎo)體行業(yè)用軟X射線離子靜電消除裝置

發(fā)布日期：2024-04-04      瀏覽次數(shù)：240

半導(dǎo)體行業(yè)用軟X射線離子靜電消除裝置

SXN 系列通過使用軟 X 射線照射電離特定區(qū)域的空氣來消除靜電。
非常適合在清潔環(huán)境中使用，主要用于半導(dǎo)體、LCD、OLED 等的制造過程。





特征

• 清潔環(huán)境的理想選擇
  與電暈放電離子發(fā)生器不同，放電針不會產(chǎn)生顆粒或粘附。由于不使用空氣或風(fēng)扇，因此不存在氣流造成的環(huán)境干擾。

• 與免維護 
  電暈放電離子發(fā)生器不同，它沒有放電針，因此無需更換或清潔電極。當(dāng)輻照燈接近其使用壽命時，警報會通知您。

• 離子平衡±0V
  由于⊕離子和?離子生成均勻，離子平衡在±0V時良好，不會發(fā)生反向充電。

• 高速除靜電性能
  ：瞬間電離帶電物體周圍的氣氛，可以快速衰減大范圍的靜電。

• 緊湊的機身和
  小型頭部單元易于安裝，即使在有限的空間內(nèi)也能輕松安裝。

輻照范圍和衰減時間性能











軟X射線照射的操作注意事項（法律規(guī)定）




• 直接暴露于軟 X 射線對人體可能會產(chǎn)生有害影響并且很危險。使用本產(chǎn)品時，需要采用以下屏蔽結(jié)構(gòu)。

• 根據(jù)電離輻射危害預(yù)防條例，您必須在預(yù)定安裝日期 30 天前向主管勞動基準(zhǔn)監(jiān)督署提交通知。

關(guān)于軟X射線的屏蔽（參考資料）




通過考慮軟 X 射線屏蔽結(jié)構(gòu)材料和屏蔽率來遵守設(shè)備安全標(biāo)準(zhǔn)。




屏蔽材料

模型	設(shè)備配置
SXN-10V	控制器SXC-10T 1臺	照射頭SXH-10V 1臺
SXN-102V	控制器SXC-102T 1臺	照射頭SXH-10V 2臺
SXN-104V	控制器SXC-104T 1臺	照射頭SXH-10V 4臺

規(guī)格?。ㄖ鳈C、控制單元）
模型		SXN-10V	SXN-102V	SXN-104V
電源電壓/頻率		AC100~240V 50/60Hz
能量消耗		23W	40W	50W
離子發(fā)生方式		軟X射線照射法
X射線輻射源		軟X射線管
冷卻方式		自然冷卻
連接頭數(shù)		SXN-10V×1臺	SXN-10V×2臺	SXN-10V x 4 臺
頭部重量		SXN-10V：0.29kg/臺
控制器重量		SXC-10T：0.52kg	SXC-102T：1.14公斤	SXC-104T：1.64公斤
頭部更換指南		大約運行 8,000 小時
外部輸出	警報	磁頭異常、系統(tǒng)錯誤等
	互鎖	聯(lián)鎖開/關(guān)
	偏僻的	遠程開/關(guān)
	力量	電源開/關(guān)
	隨著時間的推移	磁頭更換時間通知（7500小時）
展示		電源、聯(lián)鎖、超時、磁頭異常
保證		購買后1年

材料		厚度（毫米）
①	銅	0.1mm以上
②	鋁	0.2mm以上
③	玻璃	1毫米以上
④	氯乙烯	5毫米以上
⑤	丙烯酸纖維	10毫米以上
*	抗靜電亞克力：5mm以上

屏蔽率