ceratech帶加熱功能的靜電吸盤介紹

發(fā)布日期：2024-08-13      瀏覽次數(shù)：111

ceratech帶加熱功能的靜電吸盤介紹

通過將金屬電極放置在陶瓷內(nèi)部并將它們燒結(jié)在一起，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器，可充分利用各種材料技術(shù)來滿足用戶需求。我們根據(jù)等離子體環(huán)境領(lǐng)域和電子束使用領(lǐng)域等應(yīng)用提供從開發(fā)到原型設(shè)計階段的產(chǎn)品。






特點(diǎn)/應(yīng)用

(1) 帶加熱器靜電吸盤(ESC/加熱器)

　[材質(zhì)：AlN（氮化鋁）]

• 通過控制AlN的體積電阻率，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。

• 通過高度靈活的加熱器設(shè)計可以實現(xiàn)出色的溫度均勻性。

• 由于 AlN 和電極燒結(jié)在一起，因此電極不會隨著時間的推移而劣化。

• 還提供采用粘合技術(shù)的陶瓷空心結(jié)構(gòu)。








(2)靜電吸盤(ESC)

　[材質(zhì)：Al 2 O 3 (氧化鋁)]

• ?采用層壓技術(shù)，可實現(xiàn)高的面內(nèi)溫度均勻性。

• ?通過使用高純度氧化鋁，可以減少金屬污染。

• ?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性。







　[材質(zhì)：熱噴涂Al 2 O 3 ]

• 使用我們的氧化鋁噴涂技術(shù)可以形成致密的絕緣層。

• 與氧化鋁板型相比，其制造成本更低。

• 它比更便宜的薄膜類型具有更高的耐用性。



(3)陶瓷加熱器

　[材質(zhì)：AlN（氮化鋁）]

• 通過使用高導(dǎo)熱率的AlN，可以實現(xiàn)優(yōu)異的溫度均勻性（±0.3%）。

• 我們擁有IR相機(jī)、TC晶圓等特色檢測環(huán)境。




技術(shù)介紹

◆12英寸卡盤平面度精度

　平整度0.2μm以下

◆形狀控制

　根據(jù)晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）。