介紹用于半導體制造工藝和電路板安裝工藝的稱重傳感器

發(fā)布日期：2024-09-11      瀏覽次數(shù)：113

介紹用于半導體制造工藝和電路板安裝工藝的稱重傳感器




TEAC稱重傳感器的特點

• 我們可以提供與您其他公司的稱重傳感器具有相同形狀和性能的稱重傳感器。

• 可以根據(jù)相同形狀的稱重傳感器生產功能強大的定制版本。

• 可以制造諸如晶體生長稱重傳感器等專用模型。

• 我們專注于低容量和小尺寸產品。

拉錠

用于拉制半導體晶圓所需的硅、藍寶石等單晶。
即使在各種氣體環(huán)境下，也能高精度、穩(wěn)定地檢測提升過程中的微小負載變化。

通過在籽晶前端安裝稱重傳感器來進行載荷控制。



兼容的稱重傳感器：晶體生長稱重傳感器


TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
TT-XNS / TT-XNS(G)

模型	TT-XNⅡ（常壓型） TT-XNⅡ（G）（常壓氣體吹掃型）		TT-XNS（常壓型） TT-XNS(G)（常壓氣體吹掃型）
額定容量	低容量部分：100N	高容量部分：500N	20N～500N
允許過載	600N		120%RC
過載保護*	可以是		可以是
體重	8公斤		8公斤
配件	φ6，6芯屏蔽電纜，前端 NDIS插孔para（長度待討論）		φ10，6芯屏蔽電纜，前端 NDIS插孔（長度請咨詢）
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*過載保護

• TT-XNⅡ：

• 機械制動器在重力方向上約 120% 的負載下保護稱重傳感器。在相反方向（向上方向），通過將載荷傳輸部件與稱重傳感器分離來保護稱重傳感器。

• TT-XNS：

• 在重力方向上，稱重傳感器在 110% 至 120% 負載時受到機械制動器的保護。在相反方向（向上方向），稱重傳感器在大約 120% 負載時受到機械制動器的保護。

兼容的稱重傳感器：用于大直徑鑄錠負載管理


TU-PGRS ○○N/KN-G

模型	TU-PGRS ○○N/KN-G
額定容量	2kN～5kN
負載方向	拉伸/壓縮
特征	超高精度
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切割（線鋸）

鋼絲張力和錠壓制負載由稱重傳感器監(jiān)控。
使壓住錠的力恒定。

兼容的稱重傳感器


第355章

模型	第355章
額定容量	49N～
負載方向	壓縮
特征	防水性能 IP68 不銹鋼
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拋光（拋光/研磨）

用于控制硅片拋光（研磨/拋光）過程中的壓力。

測量旋轉臺的壓緊壓力（力）



稱重傳感器安裝位置：根據(jù)工作流程，可能安裝在上拋光段，也可能安裝在上下部分。

兼容的稱重傳感器：用于拋光


TC-FR(T) ○○N-G6
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TU-PGRS ○○N/KN-G

模型	TC-FR(T) ○○N-G6	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TU-PGRS ○○N/KN-G
額定容量	200N～500N	50N～500N	100N～500N
負載方向	壓縮	壓縮	拉伸/壓縮
特征	所有公司通用形狀 的標準型	帶濺射薄膜測量儀的 高響應型	超高精度
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兼容的稱重傳感器：用于包裝


TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-MXR2(T) ○○N-G3

模型	TU-GR ○ KN-G	TU-NR-C□□KN-G	TU-MXR2(T) ○○N-G3
額定容量	5kN~	1kN～	100N～500N
負載方向	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮
特征	剪切結構 抗偏心性能、抗疲勞性能	剪切結構 抗偏心性能、抗疲勞性能	適用于小型拋光設備
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晶圓測試

用于測試晶圓上形成的芯片的電氣特性時的負載管理。

探針卡壓力管理



兼容的稱重傳感器


TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-CR(T) ○○N/KN-G6

模型	TU-GR ○ KN-G	TU-NR-C□□KN-G	TU-CR(T) ○○N/KN-G6
額定容量	5kN~	1kN～	1kN?2kN
負載方向	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮
特征	剪切結構 抗偏心性能、抗疲勞性能	薄 剪切結構 耐偏心、耐疲勞	高輸出/光束型
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粘合

用于粘合壓力管理。

兼容的稱重傳感器：用于引線鍵合


TC-USR(T)29 ○○N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T)50N-G
TC-SR(T)100N-G3

目的	壓力	壓力	壓力	壓力
模型	TC-USR(T)29 ○○N-G3	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T)50N-G	TC-SR(T)100N-G3
額定容量	50N?100N	50N?100N	50N	100N
負載方向	壓縮	壓縮	壓縮	壓縮
特征	過載保護功能	采用高響應型濺射薄膜測量儀	所有公司通用形狀 的標準型	所有公司通用形狀 的標準型
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TU-MBR(T) ○○N-G3

目的	線材抗拉強度
模型	TU-MBR(T) ○○N-G3
額定容量	2N?5N?10N?20N
負載方向	拉伸/壓縮
特征	允許過載500%
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兼容的稱重傳感器：用于倒裝芯片接合/芯片接合


TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG

目的	壓力	壓力	壓力
模型	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T) ○○NG	TC-MFSR(T) ○ ○ NG
額定容量	50N?100N	20N?50N	20N?50N
負載方向	壓縮	壓縮	壓縮
特征	采用高響應型濺射薄膜測量儀	所有公司通用形狀 的標準型	特殊形狀
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最終檢查（處理程序）

進行半導體器件的性能評估和合格/不合格判斷。

兼容的稱重傳感器


TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-SR(T)100N-G3

模型	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T) ○○NG	TC-SR(T)100N-G3
額定容量	50N?100N	20N?50N	100N
負載方向	壓縮	壓縮	壓縮
特征	采用高響應型濺射薄膜測量儀	所有公司通用形狀 的標準型	所有公司通用形狀 的標準型
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貼片機

它用于控制貼片機的負載，該貼片機用于在電路板安裝過程中將電子元件放置在印刷電路板上。

吸附放置板子時測量重量



稱重傳感器安裝在底座底部

兼容的稱重傳感器


TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG
TC-USR(T)29 ○○N-G3

模型	TC-SR(T) ○○NG	TC-MFSR(T) ○ ○ NG	TC-USR(T)29 ○○N-G3
額定容量	20N?50N	20N?50N	20N?50N
負載方向	壓縮	壓縮	壓縮
特征	所有公司通用形狀 的標準型	特殊形狀	過載保護功能
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化學溶液管理

管理液體和氣瓶的剩余量。

使用低地板稱重傳感器平臺秤檢測氣缸重量



兼容稱重傳感器（秤）


TL-LF
TL-PM
TL-PS
TL-PW

TL-LF

模型	TL-LF
體重	0.4公斤
額定容量	0.6/1/3公斤
允許過載	120%
特征	超小
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TL-PM

模型	TL-PM12	TL-PM18	TL-PM21
體重	0.7公斤	1.4公斤	1.7公斤
額定容量	10/20/50公斤
允許過載	150%
特征	超小
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TL-PS

模型	TL-PS12	TL-PS18	TL-PS21	TL-PS25	TL-PS28
體重	0.8公斤	2.0公斤	2.7公斤	3.8公斤	4.5公斤
額定容量	10/20/50公斤	10/20/50/100/200公斤		10/20/50/100/200/300/400公斤
允許過載	150%
特征	標準型
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模型	TL-PS33	TL-PS42	TL-PS50	TL-PS60
體重	6.2公斤	11.1公斤	16.8公斤	18.2公斤
額定容量	20/50/100/200/300/400公斤	50/100/200/300/400公斤	100/200/300/400公斤
允許過載	150%
特征	標準型
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TL-PW

模型	TL-PW22	TL-PW34	TL-PW43	TL-PW53	TL-PW60
體重	3.4公斤	7.4公斤	12.9公斤	21.9公斤	23.0公斤
額定容量	10/20/50/100/200公斤	20/50/100/200/300/400公斤	50/100/200/300/400公斤	100/200/300/400公斤
允許過載	150%
特征	標準型