日本napson非接觸式渦流法電阻測量儀EC-80

產品特點

• 簡單的測量儀器，只需將樣品插入探針之間即可進行測量
• 在電阻/薄層電阻測量模式之間輕松切換
• 使用JOG撥盤輕松設置測量條件
• *由于探頭是固定的，因此您可以在購買前從幾種類型的探頭中選擇一種。

測量規(guī)格

測量目標

半導體/太陽能電池材料相關（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料相關（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
導電薄膜相關（金屬，ITO等）
硅基外延，離子與
半導體相關的進樣樣品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
其他（*請與我們聯xi）

測量尺寸

?8英寸，或?156x156mm

日本napson非接觸式渦流法電阻測量儀EC-80

測量范圍

[電阻] 1m至200Ω·cm
（*所有探頭類型的總范圍/厚度500um）
[抗頁電阻] 10m至3kΩ / sq
（*所有探頭類型的總范圍）

*有關每種探頭類型的測量范圍，請參閱以下內容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-??cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）