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低壓力損失金屬氣體過濾器

訪問次數(shù)：1027

更新日期：2024-03-19

簡要描述：

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時具備較高的耐熱性能。

低壓力損失金屬氣體過濾器
用途過濾雜質(zhì)

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

 

  • 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時具備較高的耐熱性能。
  • 使用氮氣（N2）輸入，當過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
  • 固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認達到0.003μm，實現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

規(guī)格

 

過濾精度0.003μm
推薦流量10～100?/min（各型號區(qū)別：參考流量特性曲線)
高使用壓力0.98MPa(142PSIG) at20℃
容許差壓0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
高使用溫度460℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L　內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
連接零件1/4"Gasket seal、其它

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